為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息，根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關(guān)規(guī)定,，現(xiàn)將華中科技大學(xué)2025年04月政府采購意向公開如下：
（略）采購項目名稱：（略）
18英寸介質(zhì)刻蝕機(jī)YX（略）A（略）工藝試驗機(jī)擬購8英寸介質(zhì)刻蝕機(jī)1臺，該設(shè)備利用化學(xué)反應(yīng)和物理離子轟擊去除硅片表面的材料來實現(xiàn)高精度圖形化,。晶圓尺寸：8英寸向下兼容,；片內(nèi)不均勻性：<5%；片間不均勻性：<5%,；刻蝕形貌：85°±5°,。服務(wù)要求：設(shè)備安裝調(diào)試后，提供不少于3個工作日的技術(shù)培訓(xùn)服務(wù),；所有硬件一年免費保修,、電話報修后4小時內(nèi)響應(yīng)；提供設(shè)備終身維護(hù)維修服務(wù),。（略）年04月
2氧化物電介質(zhì)磁控濺射儀YX（略）A（略）工藝試驗機(jī)擬采購氧化物電介質(zhì)磁控濺射儀1臺,，該設(shè)備是鍍膜的主要技術(shù)之一，通過控制真空室內(nèi)的氣壓與濺射功率,，就可以獲得穩(wěn)定的沉積速率,，通過精確控制鍍膜時間，容易獲得均勻的高精度的膜厚,。主要用于Al2O3,、Ta2O5、HfO2等電介質(zhì)薄膜材料生長,。1.基片尺寸：8英寸（兼容小尺寸基片）2,、磁控濺射靶：8英寸,3套；3,、配置1套直流電源，2套射頻電源,。服務(wù)要求：設(shè)備安裝調(diào)試后,，提供不少于3個工作日的技術(shù)培訓(xùn)服務(wù)；所有硬件一年免費保修,、電話報修后4小時內(nèi)響應(yīng),；提供設(shè)備終身維護(hù)維修服務(wù)。（略）年04月
3晶圓鍵合機(jī)YX（略）A（略）工藝試驗機(jī)擬采購晶圓鍵合機(jī)1臺,，該設(shè)備以鍵合膠為中間層,，將兩片襯底（硅、玻璃,、陶瓷,、金屬或其它單晶材料）通過加熱加壓的方式：（略）
本次公開的采購意向是本單位：（略）
（略）
2025年02月21日