（略）
項目所在采購意向：廣西科技大學汽車產(chǎn)業(yè)學科群教學科研儀器設備更新項目2024年12月3政府采購意向
采購單位：（略）
采購項目名稱：（略）
預算金額：51.200000萬元(人民幣)
采購品目：
采購需求概況：沉積顆粒指標正常顆粒大?。?-20nm,；顆粒種類：金屬,，導電化合物,，金屬氧化物,，碳材料靶材指標：99.9%靶材規(guī)格：3-6mm圓柱體棒狀,，可空心功能配件指標配件種類：低負載率的單顆粒沉積,，多孔材料的高覆蓋率過濾沉積,。配件功能要求：（略），原位透射芯片及纖維樣品,。適配尺寸：47mm（纖維）,，10mm（硅片），500mg（粉末）操作窗口指標載氣流速：1-15L/min,。對粉末材料1-5L/min載氣種類：支持惰性氣體如氬氣或氮氣,，以及空氣及氫氣等活性氣體接口尺寸：KF25法蘭
預計采購時間：2025-02
備注：
本次公開的采購意向是本單位：（略）
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