申購明細(xì)詳情
（略）申購名稱：（略）
1磁控濺射鍍膜機(jī)臺光拓GT500-Y2"1.1（略）（1臺）（略）底盤結(jié)構(gòu)（略）采用型材搭建或焊接式框架，外觀要求氧化處理或噴漆,，防止生銹,；（略）底部帶有輪子,，可推動,，并帶有可調(diào)節(jié)高度的支腳,。（略）帶有機(jī)械旋轉(zhuǎn)手臂,，有多角度調(diào)節(jié)操作界面,。（略）電氣控制集成到底盤上，與真空腔體一體式,。（略）基片架結(jié)構(gòu)（略）★可以固定1片150mmx150mm基片,，向下兼容，采用嵌入式結(jié)構(gòu),?；瑤в屑訜岷婵竟δ埽瑴囟确秶菏覝?300℃,。（略）基片可上下升降,，行程50mm，電機(jī)驅(qū)動實(shí)現(xiàn)連續(xù)旋轉(zhuǎn),，最大轉(zhuǎn)速可達(dá)30轉(zhuǎn)/分鐘,，通過磁流體與基片托盤連接。（略）配有二個擋板,，氣缸驅(qū)動,，二個擋板組合使用,，可遮擋范圍150mmx150mm。（略）濺射源（略）▲強(qiáng)磁和普磁靶各1個,，4英寸,，帶靶擋板，靶角度可調(diào)節(jié),，可濺射金屬及金屬氧化物以及其它材料,。（略）▲每個靶全部通水冷，保護(hù)磁鐵在高溫濺射過程中消磁,，工作壓強(qiáng)(濺射)：0.1～10Pa,，濺射不均勻性≤±5％。（略）▲配備3路MFC控制器,，氬氣、氧氣,、氮?dú)?，流量上限分別為200sccm,200sccm,200sccm。（略）臺國內(nèi)知名品牌直流電源,，功率不小于1KW,；（略）臺國內(nèi)知名品牌射頻電源，功率不小于500W,；（略）自動化控制軟件（略）采用工控機(jī)控制模式,，相關(guān)的操作均在工控機(jī)界面完成。（略）（略）分為自動和手動模式,，可以隨時切換,。（略）帶有一鍵自動濺射功能。（略）真空室（略）真空室由不銹鋼制成,，內(nèi)部尺寸約為500mm*500mm*500mm,，裝有基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)和擋板的固定裝置，以及靶,、真空泵,、樣品盤等裝置。（略）▲真空腔體配備兩個可以完全打開的門,，前門為移門,，通過與直線導(dǎo)軌，滑塊等裝置連接,，可使前門左右開啟與關(guān)閉,，后期也可以連接手套箱，在手套箱內(nèi)部操作前門開關(guān),，確保整個工作環(huán)境處于氮?dú)饣蚨栊詺怏w氛圍中,；后門旋轉(zhuǎn)門,，通過旋轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)后門的開關(guān)，開啟后腔體內(nèi)部完全暴露在空氣中,，主要的目的為維護(hù)檢修,，并配一個長方形觀察窗，配合腔體外部照明燈,，方便觀察腔體內(nèi)部狀況,。腔體極限真空優(yōu)于5*10-5pa，從常壓到5*10-4pa不超過20min（充氮?dú)獗Ｗo(hù)）,，保壓12小時,，壓強(qiáng)小于10Pa。（略）（略）,，可以在不關(guān)閉分子泵的條件下,，打開腔室,進(jìn)行樣品及靶材的更換。（略）腔體內(nèi)表面預(yù)留安裝金屬防污擋板接口,，后期可安裝金屬防污擋板,。（略）（略）（略）前級泵的抽速不低于30m3/h。（略）主泵采用抽速≥1300l/s的分子泵,。（略）主泵和腔室之間安裝有氣動插板閥,，通徑≥200mm。（略）▲自動抽氣控制,，帶安全互鎖功能,。（略）（略）等相應(yīng)的硬件。（略）真空室配真空計(jì),，測量范圍為大氣至10-5pa,。（略）提供售后承諾書、質(zhì)保,、質(zhì)量認(rèn)證書等,；（略）售后服務(wù)：終生免費(fèi)技術(shù)支持，現(xiàn)場安裝調(diào)試,，7*24全天候提交服務(wù)請求獲?。?span id="oseimcgwi" class="open_quick_reg">（略）