北京理工大學(xué)中電流離子注入設(shè)備采購(gòu)更正公告
各投標(biāo)人：北京理工大學(xué)中電流離子注入設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目（（略）：CFTC-BJ（略）），現(xiàn)作出以下更正：一,、更正事項(xiàng)：1,、招標(biāo)文件第四章貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格-三、采購(gòu)標(biāo)的需滿足的質(zhì)量、安全、技術(shù)規(guī)格,、物理特性等要求原內(nèi)容為：技術(shù)參數(shù)
（略）設(shè)備名稱：（略）
1多源離子注入機(jī)★具有離化、引出,、篩選和加速離子的功能,，可實(shí)現(xiàn)材料表面離子注入、（略）,，符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《離子注入機(jī)通用規(guī)范》GB/T（略）和《電磁輻射防護(hù)規(guī)定》GB（略）設(shè)計(jì)規(guī)范。須提供投標(biāo)人及制造商的《輻射安全許可證》（提供許可證復(fù)印件加蓋投標(biāo)人公章）供電：三相380VAC,、50Hz,，受實(shí)驗(yàn)室電力限制，總功率＜50kW,。受實(shí)驗(yàn)室硬件限制,，整機(jī)主體尺寸不大于：長(zhǎng)5000mm×寬4000mm×高3000mm，重量＜15000kg,。系統(tǒng)具有水電氣部件,、電磁輻射部件、機(jī)械部件和高溫部件的安全連鎖功能及緊急停止功能,。計(jì)算機(jī)控制界面,，用戶可通過(guò)軟件界面進(jìn)行正常操作，（略）基本參數(shù)和狀態(tài),。整機(jī)采用高可靠性IOC（略）,，（略）系統(tǒng)，可兼容2～6英寸基片,，單次裝片可實(shí)現(xiàn)6英寸基片注1臺(tái)
入數(shù)量≥8片8.采用點(diǎn)狀離子束斑注入方式：（略）
2高速退火離子擴(kuò)散設(shè)備★快速升溫模塊最高溫度：≥2900℃2.#快速升溫模塊最快升溫速率：≥200℃/s3.提拉部件最快移動(dòng)速度：≥30mm/min4.提拉部件旋轉(zhuǎn)速度：0.1～23RPM線性可控5.#提拉模塊樣品提拉速度：0.4～15mm/h6.★紅外測(cè)溫儀檢測(cè)溫度范圍：1000～3000℃7.退火爐溫控精度：在2000℃時(shí),，溫度誤差低于±1℃8.最長(zhǎng)連續(xù)加熱時(shí)間：≥24h(≤2000℃)9.★原料最大重量：≥300g10.樣品可移動(dòng)行程：≥300mm11.樣品質(zhì)量探測(cè)模塊曝光時(shí)間：≤20s12.輸入電壓：380VAC，三相1臺(tái)
13.制冷機(jī)制冷量：≥26000Btu/h14.#真空度：≤5×10-6Torr,15.真空腔泄露率≤5×10-7Pa·L/s16.#惰性氣體傳感器測(cè)量范圍：0～1000ppm
3晶體離子注入缺陷檢測(cè)儀★X-波段脈沖電子順磁共振譜儀,，連續(xù)波模式下探測(cè)信噪比：≥3000:12.★絕對(duì)自旋數(shù)目靈敏度：≤1×109spins/(G?√????)3.微波頻率范圍：9.2～9.9GHz4.微波橋校平輸出微波功率≥200mW5.微波功率衰減范圍：0～60dB,，步進(jìn)：1dB6.最大100MHz掃描，可縮放以滿足不同帶寬的諧振腔7.脈沖通道4路等幅度通道,，相位依次相差90°（+X,，+Y,，-X，-Y）,，以支持相位循環(huán)8.#定量EPR測(cè)試可選內(nèi)置Mn標(biāo),，進(jìn)行相對(duì)定量EPR計(jì)算9.脈沖模式接收機(jī)帶寬20MHz和200MHz兩檔可調(diào)節(jié)10.增益10～60dB，步進(jìn)：10dB11.單次最大記錄長(zhǎng)度≥80000點(diǎn)12.脈沖通道數(shù)≥12,，包括+X,、-X、+Y,、-Y四種相位脈沖通道,，（略）、接收機(jī)保護(hù)開關(guān),、可擴(kuò)展通道等13.★脈沖時(shí)間分辨率：0.05ns14.最短脈沖長(zhǎng)度≤6ns15.脈沖數(shù)≥20000/通道,，支持無(wú)限次循環(huán)播放16.#（略）的高性能軟件包，可實(shí)現(xiàn)譜儀控制,、數(shù)據(jù)采集,、譜圖處理和擬合功能17.最大磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.7T18.#調(diào)制場(chǎng)頻率范圍：0.5～120kHz1臺(tái)
19.最大調(diào)制場(chǎng)幅度：20Gauss20.磁場(chǎng)掃場(chǎng)范圍：0.01–0.7T21.實(shí)驗(yàn)操作軟件支持儀器進(jìn)行狀態(tài)切換、參數(shù)控制,、實(shí)驗(yàn)流程控制,、數(shù)據(jù)采集和分析22.連續(xù)波電子順磁共振數(shù)據(jù)采集模式包括但不限于以下模式：一維磁場(chǎng)掃描、一維時(shí)間掃描,、二維磁場(chǎng)-時(shí)間掃描,、二維磁場(chǎng)-功率掃描、二維磁場(chǎng)-調(diào)制場(chǎng)幅度掃描,、二維磁場(chǎng)-角度掃描
現(xiàn)更正為：
技術(shù)參數(shù)
（略）設(shè)備名稱：（略）
1多源離子注入機(jī)一,、離子注入模塊：1.★具有離化、引出,、篩選和加速離子的功能,，可實(shí)現(xiàn)材料表面離子注入、（略）,，符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《離子注入機(jī)通用規(guī)范》GB/T（略）和《電磁輻射防護(hù)規(guī)定》GB（略）設(shè)計(jì)規(guī)范,。須提供投標(biāo)人及制造商的《輻射安全許可證》（提供許可證復(fù)印件加蓋投標(biāo)人公章）2.供電為三相380VAC、50Hz,，受實(shí)驗(yàn)室電力限制,，總功率＜50kW。受實(shí)驗(yàn)室硬件限制,，整機(jī)主體尺寸不大于：長(zhǎng)5000mm×寬4000mm×高3000mm,，重量＜15000kg。3.系統(tǒng)具有水電氣部件、電磁輻射部件,、機(jī)械部件和高溫部件的安全連鎖功能及緊急停止功能,。計(jì)算機(jī)控制界面，用戶可通過(guò)軟件界面進(jìn)行正常操作,，（略）基本參數(shù)和狀態(tài),。整機(jī)采用高可靠性IOC（略），（略）系統(tǒng),，可兼容2～6英寸基片,，單次裝片可實(shí)現(xiàn)6英寸基片注入數(shù)量≥8片采用點(diǎn)狀離子束斑注入方式：（略）
6.#配備靶盤二維旋轉(zhuǎn)與垂直機(jī)械掃描運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)劑量均勻性控制,，高速旋轉(zhuǎn)靶轉(zhuǎn)速≥900轉(zhuǎn)/分鐘,。7.★（略），離子源,、束線腔體高真空值優(yōu)于2×10-6torr,，靶室側(cè)真空值優(yōu)于8×10-7torr且靶室側(cè)冷泵不少于2個(gè)。單電荷離子能量范圍：5～200keV,。8.9.可注入Ar,、N、B,、P元素,，離子束流穩(wěn)定性，束流偏移值＜20%在(運(yùn)行1小時(shí)期間)10.單電荷離子注入的硅片內(nèi)劑量均勻性≤3%（劑量不低于1×1013ions/cm2時(shí)）,。劑量范圍5×1010～1×10-17ions/cm2,。11.#注入角度包含0和7°,，精度±0.5°,，基片表面工藝溫度＜100℃。二,、離子注入樣品檢測(cè)模塊：12.#PMA垂直和IMA面內(nèi)磁場(chǎng)配備樣品托（真空負(fù)壓吸附,，內(nèi)置高斯計(jì)精度優(yōu)于0.02mT）；13.#配備R-G-B三色激光光源,，三色光源亮度可通過(guò)程序調(diào)控,；14.光源入射角度可通過(guò)空間光調(diào)制器調(diào)節(jié)，入射角掃描分辨率優(yōu)于0.3°,；設(shè)備磁光成像的空間分辨率優(yōu)于550nm,，具備0.4nm垂直薄膜檢測(cè)靈敏度；15.需要配備可程控的電動(dòng)顯微聚焦模組,，行程>50mm,；配備可程控的電動(dòng)檢偏模組，重復(fù)步進(jìn)精度0.03°；16.#需要配備工業(yè)級(jí)相機(jī),，像素≥（略）,，滿畫幅幀率不少于30幀/秒，量子效率≥75%,。17.#波長(zhǎng)范圍：400nm～（略）@78MHz,；可見光功率(350nm～850nm)：≥（略）@78MHz；18.重復(fù)頻率：150kHz-78MHz,；19.#通信接口至少具備USB2.0/RS-232/Ethernet三種通信接口.
20.具備Watchdog定時(shí)長(zhǎng)關(guān)閉出光功能,Watchdog定時(shí)長(zhǎng)可調(diào)范圍：1s～255s.
2高速退火離子擴(kuò)散設(shè)備一,、高速退火模塊：1.★快速升溫模塊最高溫度：≥2900℃2.#快速升溫模塊最快升溫速率：≥200℃/s3.提拉部件最快移動(dòng)速度：≥30mm/min4.提拉部件旋轉(zhuǎn)速度：0.1～23RPM線性可控5.#提拉模塊樣品提拉速度：0.4～15mm/h6.★紅外測(cè)溫儀檢測(cè)溫度范圍：1000～3000℃7.退火爐溫控精度：在2000℃時(shí)，溫度誤差低于±1℃8.最長(zhǎng)連續(xù)加熱時(shí)間：≥24h(≤2000℃)9.★原料最大重量：≥300g10.樣品可移動(dòng)行程：≥300mm11.輸入電壓：380VAC,，三相12.制冷機(jī)制冷量：≥26000Btu/h13.#真空度：≤5×10-6Torr,14.真空腔泄露率≤5×10-7Pa·L/s15.#惰性氣體傳感器測(cè)量范圍：0～1000ppm二,、樣品質(zhì)量檢測(cè)模塊：16.管電壓≥30KV，管電流≥1.5mA,，17.光斑尺寸：直徑≤0.8mm18.#探測(cè)器類型：圓形全二維面探測(cè)器,；19.配備CCD攝像頭和LED光源用于樣品定位；20.#探測(cè)器直徑≥3英寸典型曝光時(shí)間≥15s,。1臺(tái)
3晶體離子注入缺陷檢測(cè)儀1.★X-波段脈沖電子順磁共振譜儀,，連續(xù)波模式下探測(cè)信噪比：≥3000:1。2.★絕對(duì)自旋數(shù)目靈敏度：≤1×109spins/(G?√????),。3.微波頻率范圍：9.2～9.9GHz,。1臺(tái)
4.微波橋校平輸出微波功率≥200mW。5.微波功率衰減范圍：0～60dB,，步進(jìn)：1dB,。6.最大100MHz掃描，可縮放以滿足不同帶寬的諧振腔7.脈沖通道4路等幅度通道,，相位依次相差90°（+X,，+Y，-X,，-Y）,，以支持相位循環(huán)。8.#定量EPR測(cè)試可選內(nèi)置Mn標(biāo),，進(jìn)行相對(duì)定量EPR計(jì)算9.脈沖模式接收機(jī)帶寬20MHz和200MHz兩檔可調(diào)節(jié),。10.增益10～60dB，步進(jìn)：10dB,。11.單次最大記錄長(zhǎng)度≥80000點(diǎn),。12.脈沖通道數(shù)≥12。13.★脈沖時(shí)間分辨率：0.05ns,。14.最短脈沖長(zhǎng)度≤6ns,。15.脈沖數(shù)≥20000/通道,，支持無(wú)限次循環(huán)播放。16.#配備控制和數(shù)據(jù)采集處理軟件,。17.最大磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.7T,。18.#調(diào)制場(chǎng)頻率范圍：0.5～120kHz。19.最大調(diào)制場(chǎng)幅度：20Gauss,。20.磁場(chǎng)掃場(chǎng)范圍：0.01–0.7T,。21.實(shí)驗(yàn)操作軟件支持儀器進(jìn)行狀態(tài)切換、參數(shù)控制,、實(shí)驗(yàn)流程控制,、數(shù)據(jù)采集和分析。22.連續(xù)波電子順磁共振數(shù)據(jù)采集模式包括但不限于以下模式：一維磁場(chǎng)掃描,、一維時(shí)間掃描,、二維磁場(chǎng)-時(shí)間掃描、二維磁場(chǎng)-功率掃描,、二維磁場(chǎng)-調(diào)制場(chǎng)幅度掃描,、二維磁場(chǎng)-角度掃描。23.（略）,、接收機(jī)保護(hù)開關(guān),、可擴(kuò)展通道。
2,、第五章評(píng)審內(nèi)容-三,、本次招標(biāo)采用綜合評(píng)分法-對(duì)技術(shù)規(guī)范要求的響應(yīng)程度原內(nèi)容為：
對(duì)于第四章貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格三、采購(gòu)標(biāo)的需滿足的質(zhì)量,、安全,、技術(shù)規(guī)
格、物理特性等要求（共55條指標(biāo),，其中“★”指標(biāo)9條,；“#”號(hào)指標(biāo)8條，一般指標(biāo)
38條）的響應(yīng)程度：
1）“★”指標(biāo)屬于實(shí)質(zhì)性條款,，不允許負(fù)偏離,，如有負(fù)偏離,，其投標(biāo)將被拒絕,；
2）“#”號(hào)指標(biāo)屬于重要指標(biāo)，每有一條“#”號(hào)指標(biāo)無(wú)負(fù)偏離得3分,，最高得分24
分,；
3）每有一條一般指標(biāo)無(wú)負(fù)偏離得0.5分，完全響應(yīng)無(wú)負(fù)偏離得19分,。
技術(shù)響應(yīng)得分=“#”號(hào)條款得分+一般指標(biāo)得分
現(xiàn)更正為：
對(duì)于第四章貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格三,、采購(gòu)標(biāo)的需滿足的質(zhì)量,、安全、技術(shù)規(guī)
格,、物理特性等要求（共63條指標(biāo),，其中“★”指標(biāo)9條；“#”號(hào)指標(biāo)16條,，一般指標(biāo)
38條）的響應(yīng)程度：
1）“★”指標(biāo)屬于實(shí)質(zhì)性條款,，不允許負(fù)偏離，如有負(fù)偏離,，其投標(biāo)將被拒絕,；
2）“#”號(hào)指標(biāo)屬于重要指標(biāo)，每有一條“#”號(hào)指標(biāo)無(wú)負(fù)偏離得1.5分,，最高得分
24分,；
3）每有一條一般指標(biāo)無(wú)負(fù)偏離得0.5分，完全響應(yīng)無(wú)負(fù)偏離得19分,。
技術(shù)響應(yīng)得分=“#”號(hào)條款得分+一般指標(biāo)得分
其他內(nèi)容不變,。
附件：更正公告.pdf