北京理工大學(xué)RCA槽式清洗機(jī)采購招標(biāo)公告
項目概況
北京理工大學(xué)RCA槽式清洗機(jī)采購招標(biāo)項目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在北京
市（略）院國信招標(biāo)獲?。?span id="oseimcgwi" class="open_quick_reg">（略）
日9點30分（北京時間）前遞交投標(biāo)文件,。
一、項目基本情況
（略）：GXTC-A1-（略）
項目名稱：（略）
預(yù)算金額：240.00萬元
最高限價（如有）：240.00萬元
采購需求：
（略）貨物名稱：（略）
1RCA槽式清洗機(jī)詳見附件臺1簽訂合同之日起4個月內(nèi)貨到采購人：（略）
其他：投標(biāo)人必須對招標(biāo)貨物內(nèi)所有貨物進(jìn)行投標(biāo),，不允許只投標(biāo)
其中的一部分,，否則作為無效標(biāo)處理。
合同履行期限：簽訂合同之日起4個月內(nèi)貨到采購人：（略）
試驗收完畢,。
本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo),。
二、申請人的資格要求：
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定,；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：無,。
3.本項目的特定資格要求：無
三、獲?。?span id="oseimcgwi" class="open_quick_reg">（略）
時間：2024年12月5日至2024年12月12日,，每天上午9時至12
時，下午13時至17時（北京時間,，法定節(jié)假日除外）
地點：（略）
方式：（略）
報名流程：
1,、請在“國信招標(biāo)集團(tuán)單位：（略）
2、在上述“國信招標(biāo)集團(tuán)單位：（略）
2024年12月5日至2024年12月12日（每日9:00-12:00,，13:00-
17:00,，周六、周日及法定節(jié)假日除外）,，將材料發(fā)送至（略）@qq.com,，材料如下：
（1）報名信息編輯文字，包括：（略）,、項目名稱：（略）
（2）標(biāo)書款付款截圖,。
（3）郵箱：（略）
標(biāo)書款賬戶：
開戶名稱：（略）
開戶銀行：招行中關(guān)村支行
（略）：（略）（略）908
3、特別提醒：投標(biāo)單位：（略）
售價：人民幣500元/本,，售后不退,。只有購買了招標(biāo)文件并登記備案的投標(biāo)人才有資格參與投標(biāo)。
四,、提交投標(biāo)文件截止時間,、開標(biāo)時間和地點：（略）
時間：2024年12月27日9點30分（北京時間）
地點：（略）
五、公告期限
自本公告發(fā)布之日起5個工作日,。
六,、其他補(bǔ)充事宜
1.采購項目執(zhí)行政府采購政策
（1）根據(jù)《政府采購促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財庫〔2020〕46號），本項目預(yù)留份額專門面向中小企業(yè),；本項目預(yù)留的專門面向中小企業(yè)的份額為100%,。
（2）優(yōu)先采購節(jié)能環(huán)保產(chǎn)品（注：所采購的貨物在政府采購節(jié)能產(chǎn)品、環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品實施品目清單范圍內(nèi),，且具有國家確定的認(rèn)證機(jī)構(gòu)出具的,、處于有效期之內(nèi)的節(jié)能產(chǎn)品、環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品認(rèn)證證書）,。
2.被“信用中國”網(wǎng)站（（略）.cn）列入失信被執(zhí)行人/重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的供應(yīng)商,、（略）（（略）.cn）列入政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單中的供應(yīng)商、被財政部門禁止參加政府采購活動的供應(yīng)商（處罰決定規(guī)定的時間和地域范圍內(nèi)）,，無資格參加本項目的采購活動,；
3.單位：（略）
4.本項目若接受聯(lián)合體投標(biāo),，聯(lián)合體各方均應(yīng)滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定及本條第2、3款要求,。
5.請（略）及款項用途,，否則，
因款項用途不明導(dǎo)致投標(biāo)無效等后果由投標(biāo)人自行承擔(dān),。
6.接收標(biāo)書款,、服務(wù)費的銀行賬戶信息：
開戶名稱：（略）
開戶銀行：招商銀行中關(guān)村支行
（略）：（略）（略）908
七、對本次招標(biāo)提出詢問,，請按以下方式：（略）
1.采購人：（略）
名稱：（略）
地址：（略）
聯(lián)系方式：（略）
聯(lián)系電話：（略）
2.采購代理機(jī)構(gòu)：（略）
名稱：（略）
地址：（略）
聯(lián)系方式：（略）
電子郵箱：（略）
3.項目聯(lián)系方式：（略）
聯(lián)系人：（略）
聯(lián)系方式：（略）
附件：主要技術(shù)要求
★1.全自動設(shè)備,，匹配6英寸晶圓，并兼容4英寸晶圓,，配備一套機(jī)械手,，操作過程全自動，機(jī)械手精度≤0.1mm,；★2.QDR槽有噴淋,、溢流、循環(huán),、快排,、N2鼓泡；SPM對應(yīng)的水槽用60℃的水噴淋和溢流,；循環(huán)槽配備有循環(huán)超聲波非接觸流量計,，用于循環(huán)流量監(jiān)控及工藝參數(shù)調(diào)整設(shè)定；★3.對于滿足國標(biāo)要求（GB/T（略））的硅裸晶圓,，經(jīng)過RCA槽式清洗機(jī)處理后,，4寸晶圓表面要求尺寸>150nm的顆粒數(shù)量低于50顆；#4.共配備6個槽體,，3個藥液槽分別對應(yīng)SPM（溫控RT-130±1℃）,、SC1（溫控RT-80±1℃）、SC2（溫控RT-80±1℃）藥液,，藥液槽均使用高純石英,5.配備3個標(biāo)準(zhǔn)QDR槽體,；（略），配液精度≤±3%,；6.配備配液暫存槽3個,，分別暫存SPM、SC1,、SC2三種藥液,；#7.SPM、SC1對應(yīng)槽體配備在線加熱溫控、循環(huán)過濾功能,，過濾精度0.1微米,；循環(huán)流量≥20L/min,；8.SC1槽體配備950KHz（略）,功率≥600w,；9.配備循環(huán)過濾的槽體設(shè)備溫控精度±1℃,，其他槽體溫控精度±2℃；10.設(shè)備兩側(cè)分別配置水槍一只,，氮氣槍一只；#11.整機(jī)外殼要求使用耐腐蝕材料加工,，阻燃PVC板制作,；12.設(shè)備尺寸不大于3600mm*1700mm*2000mm；13.（略）,，層流速度0.3-0.5m/s可調(diào),，設(shè)備配有排風(fēng)負(fù)壓檢測表，用于檢測設(shè)備負(fù)壓狀況,；14.設(shè)備可存儲工藝菜單數(shù)量≥500個,；#15.（略）損壞的情況下數(shù)據(jù)可以進(jìn)行保存；16.設(shè)備可以實時監(jiān)控設(shè)備運行狀況,，配備完善的報警和保護(hù)設(shè)計,，排風(fēng)壓力、液位,、排液均有硬件或軟件互鎖,；17.設(shè)備預(yù)留MES接口。
注：其他技術(shù)要求詳見招標(biāo)文件
計劃財務(wù)部2024年12月5日