轉(zhuǎn)讓/許可標的基本情況轉(zhuǎn)讓/許可方基本情況受讓方資格條件
轉(zhuǎn)讓/許可標的基本情況標的名稱:
(略)
掛牌開始時間
(略)掛牌截止時間
(略)
專利所屬地中國專利類型發(fā)明專利
IPC分類C部--化學(xué),;冶金|C23對金屬材料的鍍覆,;用金屬材料對材料的鍍覆,;
(略)ZL
(略)4.4
授權(quán)日期
(略)到期時間
(略)
應(yīng)用領(lǐng)域新材料
簡介本發(fā)明實施例公開了一種用于脈沖激光成膜的靶材,、薄膜的制造方法及設(shè)備,。該靶材包括位于所述靶材表面的
(略)域和
(略)域,其中,,所述
(略)域和所述
(略)域分別具有第一組分和第二組分,,所述第一組分和所述第二組分不同,在成膜期間,,所述脈沖激光的光斑轟擊所述
(略)域和所述
(略)域以獲得可調(diào)整組分的薄膜,。本發(fā)明實施例提供的靶材、組合薄膜的制造方法及設(shè)備,,通過設(shè)計合成組合型靶材,,并結(jié)合對激光光斑的控制調(diào)節(jié),能夠?qū)崿F(xiàn)多種目的組合薄膜的生長;并能夠極大地提高樣品合成的效率,,能夠(連續(xù))調(diào)控具體的某個生長變量,,實現(xiàn)系列樣品的平行制備;該制造設(shè)備的原理簡單,、復(fù)雜程度低,,降低了累計誤差和機械損耗的影響。
擬轉(zhuǎn)讓/許可方式:
(略)
轉(zhuǎn)讓/許可方基本情況轉(zhuǎn)讓/許可方類型高校認證名稱:
(略)
注冊地
(略)注冊資本330544.6萬元
受讓方資格條件轉(zhuǎn)讓/許可范圍僅國內(nèi)
受讓方資格條件無
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