為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息,,根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》(財庫〔2020〕10號)等有關(guān)規(guī)定,,現(xiàn)將南京大學(xué)2024年政府采購意向公開(第33批)政府采購意向公開如下:
(略)采購項目名稱:
(略)
1
(略)(略)A
(略)真
(略)一套,
(略),、
(略)組成,。主要參數(shù)需求如下:一、超高真空磁控濺射:1.樣品尺寸:4英寸;2.濺射腔室極限真空:10-8Pa量級,;3.濺射腔室正面設(shè)有鉸鏈DN300手動快開門,,雙密封結(jié)構(gòu);4.樣品臺加熱溫度:800℃,,靶基距調(diào)節(jié)范圍100mm,,樣品臺旋轉(zhuǎn)0-20rpm;5.靶槍及電源:2個2英寸超高真空靶槍,,1個直流電源和1個射頻電源,;6.工藝氣體:3路氣體進(jìn)氣,氬氣,,氧氣,,氮氣;配有工藝穩(wěn)壓模塊,;7.膜厚均勻性優(yōu)于±5%,。二、
(略):1.樣品尺寸:4英寸,;2.
(略)極限真空:10-6Pa量級,;3.水冷樣品臺:4英寸樣品,,樣品臺旋轉(zhuǎn)0-10rpm連續(xù)可調(diào),;偏擺角度可調(diào)0-50°(不破真空且樣品臺旋轉(zhuǎn)連續(xù)旋轉(zhuǎn)時);生長距離調(diào)節(jié)范圍50mm(生長距離550mm),;4.電子束蒸發(fā)源:電子束蒸發(fā)源6x4cc,,電源功率5kW;5.膜厚均勻性優(yōu)于±5%,。三,、
(略):1.
(略)(略)對接;2.
(略)極限真空:10-5Pa量級,;3.可以實現(xiàn)5個4英寸樣品的儲存及快速進(jìn)樣,。儀器質(zhì)保期需求:12個月。
(略)年11月
2南京大學(xué)浦口,、鼓
(略)校區(qū)的通勤班車服務(wù)(寒暑假,、節(jié)假日除外)
(略)年11月
本次公開的采購意向是本單位:
(略)
南京大學(xué)招標(biāo)辦公室
2024年10月12日
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