為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息，根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關(guān)規(guī)定,，（略）2024年8月采購意向公開如下：
（略）采購項目名稱：（略）
1西電蕪湖研究院碳化硅外延爐采購西安電子科技大學(xué)蕪湖研究院采購碳化硅外延爐1臺,。加工晶圓尺寸為：6,、8英寸兼容,；最大工藝溫度為：1750℃,；高速生長速率為：≥60μm/h,，標(biāo)準(zhǔn)生長速率為：≥30μm/h,；背景濃度＜1E14cm-3；厚度11um外延層（6&8英寸）指標(biāo)為：單片外延層厚度不均勻性為：≤2%（б/mean）,，片內(nèi)摻雜濃度不均勻性為：≤4%（б/mean）,；可控?fù)诫s濃度范圍為：1E14～1E19cm-3。用于碳化硅外延材料生長,，實現(xiàn)自主外延晶圓材料供給,。（略）年09月
本次公開的采購意向是本單位：（略）
（略）
2024年08月27日