采購(gòu)意向
其他采購(gòu)方式：（略）
中國(guó)科學(xué)院贛江創(chuàng)新研究院
（略）
貨物/通用設(shè)備
預(yù)算***金額
（略）
項(xiàng)目所在采購(gòu)意向：中國(guó)科學(xué)院贛江創(chuàng)新研究院2024年3至5月政府采購(gòu)意向
采購(gòu)單位：（略）
采購(gòu)項(xiàng)目名稱：（略）
預(yù)算金額：***萬(wàn)元(人民幣)
采購(gòu)品目：A（略）
采購(gòu)需求概況：1)主真空室：≥1000mm×500mm×500mm,，極限真空度：8.0×10-3Pa；2)真空室壓升率：≤2.5Pa/h,；3)抽氣速率：主真空室60分鐘內(nèi)達(dá)10-3Pa,；4)配置3把以上電子束槍?zhuān)砷L(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作功率：0kW-40kW/槍?zhuān)?)設(shè)備高壓0-20kV,，束流0-2A,，工作中連續(xù)可調(diào)，具備高壓穩(wěn)壓功能保證工藝的一致性,；6)沉積涂層可裝載工件旋轉(zhuǎn)最大直徑：300mm,，工件水平傳送軸采用波紋管密封，可以有效避免真空泄露,，最大載荷:30kg,工件旋轉(zhuǎn)速度：0-30rpm,工件水平位移速度：0-200mm/min,，工作中連續(xù)可調(diào)；靶材直徑70mm,，長(zhǎng)度不小于300mm,；7）滿足蒸發(fā)沉積的需求濺射靶材：金屬、合金,、化合物,、陶瓷等。
預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間：2024-03
備注：
本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位：（略）